Микроелектроника

Основни теми: Въведение: Обща характеристика. Основни понятия. Етапи на развитие. Перспективи. Материали в микроелектронното производство.Технологични процеси и методи в микроелектрониката: Класификация на технологичните процеси. Създаване на полупроводникови преходи и слоеве. Създаване на тънки изолационни и проводящи слоеве.Почистване и отнемане на тънки слоеве. Пренасяне на топологичното изображение върху работните подложки. Монтаж и корпусиране на елементи. Микроелектронни елементи: Класификация и структура. Елементи на ХИС. Пасивни слойни елементи. Обемни елементи. Биполярни интегрални елементи. MOS интегрални елементи. Микроелектронна схемотехника: Основни елементи и стъпала. Аналогови интегрални схеми. Цифрови интегрални схеми. Памети – видове, организация. Специализирани схеми и модули. Микроелектромеханични системи /МЕМС/: Общи сведения, видове. МЕМС сензори и изпълнителни устройства. Производство и перспективи.